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惠然微电子与华润微电子签署合作协议 联合推进半导体量检测设备研发
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惠然微电子与华润微电子签署合作协议 联合推进半导体量检测设备研发
发布时间：2026-09-02 13:05:05
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tech.huanqiu***
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惠然微电子与华润微电子签署合作协议 联合推进半导体量检测设备研发
/e3pmh164r/e3pmh33i9
<article><section data-type="rtext"><p>9月1日下午，“芯链协同 共创未来”滨湖区集成电路产业对接会在无锡举行。对接会上，惠然微电子技术（无锡）有限公司与华润微电子有限公司签署战略合作框架协议，双方围绕半导体设备国产化，联合推动量检测设备的自主研发与产业化应用，并建立技术交流机制和人才培养机制，协同产业链上下游***整合。</p><p><i class="pic-con"></p><p>中国科学院微电子研究所光电技术中心副主任吴晓斌、浙江省半导体行业协会秘书长丁勇，集成电路产业链企业代表、高校科研院所代表、投资机构代表，滨湖区相关负责人出席活动。</p><p><i class="pic-con"></p><p>深耕自研，“芯”品迭出。一批由惠然微电子自主研发并达到国内领先水平对接会现场，惠然微电子发布三款自主研发产品。14/22nm CD-SEM关键尺寸量测设备向下兼容22nm量产、向上支撑14nm工艺研发，可应用于研发与量产两类场景；Mask CD-SEM掩模版量测装备面向22nm及以上节点光刻掩模版关键尺寸计量需求；AI-电子束量测技术平台RMS作为CD-SEM智能体产线解决方案，覆盖硬件与算法数据处理环节。</p><p>华润微电子董事长何小龙在交流中表示，高端量检测正从实验室进入量产线，需要国内客户的参与，保障晶圆制造的供应链体系安全。惠然微电子董事长王志刚以《埃米时代的量测革命：CD-SEM技术演进、产业趋势与国产电子束装备突围》为题，介绍国产电子束装备的技术路径与产业进展。产业交流环节，长电科技、华虹半导体等企业，鲸芯资本、锡高投等投资机构，中科院微电子所光电中心等科研院所参与讨论。</p><p><i class="pic-con"></p><p>滨湖区集成电路产业已有30余年发展历史，形成了企业集中、配套完善的产业体系。区域内汇聚江南大学、东南大学、中电科五十八所等高校院所，落地国家集成电路设计中心、清华无锡智能产业创新中心等科创平台，建设申威信创、锡芯谷等产业园区，集聚中科芯、卓胜微、惠然微电子、利普思等企业。据了解，2026年上半年，滨湖区集成电路产业实现营收超70亿元。（心月）</p></section><img src='/image/161738-0' alt='惠然微电子与华润微电子签署合作协议 联合推进半导体量检测设备研发'> </div> </div> <div class="newshowbox_r"> <div class="newshowbox_r_t c"> <div class="newshow_pjs"> <div class="newshow_pjs_fx"> </div> </div> <div class="newshow_back"> <a href="javascript:history.back(-1);">返回列表</a> </div> </div> <div class="newshowbox_r_b c"> <a href="/detail/1666.html" title=" 如果SSD硬盘闲置很多年，内部数据会不会丢失？"> 上一篇 : 如果SSD硬盘闲置很多年，内部数据会不会丢失？ </a> <br><a href="/detail/1929.html" title="Rust连续多年成为最受欢迎的语言，为啥国内使用的人还是很少?"> 下一篇 : Rust连续多年成为最受欢迎的语言，为啥国内使用的人还是很少? </a> </div> </div> </div> </div> </div> </div> </div> </div> <div class="s_footer c"> <div class="s_footerz c"> <div class="s_fb_l"> <div class="s_fb_l01">联系我们</div> <div class="s_fb_l02"> <div class="s_fb_l02_l"><img src="/template/moban188/skin/images/ico-30.png"/></div> <div class="s_fb_l02_c">地址：</div> </div> <div class="s_fb_l02"> <div class="s_fb_l02_l"><img src="/template/moban188/skin/images/ico-30.png"/></div> <div class="s_fb_l02_c">电话：</div> </div> <div class="s_fb_l02"> <div 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